高速大行程宏微复合运动平台的振动抑制与精密定位方法研究

高速大行程宏微复合运动平台的振动抑制与精密定位方法研究高速大行程宏微复合运动平台的振动抑制与精密定位方法研究摘要：随着科技的不断发展，高速大行程宏微复合运动平台在工业制造、医疗器械、航空航天等领域得到