硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法编制说明

家标准《硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法》编制说明（送审稿）一'工作简况.立项目的和意义在硅单晶生长过程中，通常故意引入氮，其目的有：（1）增加单晶生长过程中无缺 陷区域的V/G允许值，其中，V是指