改进遗传算法在CMP终点检测的应用

万方数据第4l卷第10期 2020年10月 计 学 报 (中国计量大学计量测试工程学院，浙江杭州310018) 摘要：提出了一种基于反射法的化学机械抛光(cMP)在线终点判定方法。首先通过改进的单纯形