具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究

具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究摘要：本文主要介绍了具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究。首先，介绍了硅基MEMS技术的基本原理，并探讨了硅基MEMS膜片制