声表面波器件工艺原理-2镀膜工艺原理

声表面波工艺原理 第二章 镀膜工艺原理二，声表器件真空镀膜工艺原理：真空镀膜是声表面波器件制作的一个关键工序。由于激发压电体表面波需要一个金属叉指电极换能器，因此必须在基片表面生长一层金属膜，对这层薄