高性能铟镓锌氧薄膜晶体管器件制备及机理研究

高性能铟镓锌氧薄膜晶体管器件制备及机理研究高性能铟镓锌氧薄膜晶体管器件制备及机理研究摘要：高性能铟镓锌氧（IGZO）薄膜晶体管（TFT）器件是近年来备受关注的一种新型薄膜晶体管技术。本文从制备方法和器