ADS产品磁控溅射法制备SD层的膜层黑点

ELECTRONICS WORLD・技术交流ADS产品磁控溅射法制备SD层的膜层黑点合肥京东方光电科技有限公司 王效坤ADS产品SD制程时产生的膜层黑点不良，影响产品良率。本文房伟华 刘 飞 郭如旺