MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究

MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计制作与测试研究摘要：本文研究了MEMS硅铝异质结构压力传感器的设计、制作与测试方法。首先介绍了MEMS普及和MEMS压力传感器的研究现状以及压力传感器的原理，然后对