集成电路工艺思考题

集成电路工艺思考题 思考题 将硅单晶棒制作成硅片包括哪些工序？ 切片可决定晶片的哪四个参数？ 硅单晶片研磨后为何要清洗？ 硅片表面吸附杂质的存在形态有哪些？对这些形态按何