在强碳化物形成元素衬底上生长金刚石薄膜机制的研究

在强碳化物形成元素衬底上生长金刚石薄膜机制的研究背景金刚石是一种具有极高硬度和强韧性的材料，广泛应用于工业的切割、磨料和硬质涂层等领域。金刚石可通过化学气相沉积（CVD）方法在碳化硅、硼氮化铝等高强度