真空镀膜机基本技术要求

1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零 部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合 GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室 上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空 度。当发现