UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究

UV-LIGA 与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究工精度、加工稳定性等都得到了明显的提高。根据分析优化后的参数，以制备出的阵列电极为工具阴极进行微细群孔的电解加工实验。通过对阵列电极进行绝缘处理