薄膜成膜技术

- 第四章 薄膜成膜技术 - 常用薄膜材料一、薄膜导体材料 导体薄膜的主要用途是形成电路图形，为半导体元件、半导体芯片、电阻、电容等电路部件提供电极及相互引线，以