薄膜的物理气相沉积Ⅱ-溅射法

- 第四章 薄膜制备技术-溅射法 - 第四章 薄膜制备技术-溅射法 - 溅射法利用带电离子在电磁场的作用下获得足够的能量，轰击固体（靶）物质，从靶材