单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能

单晶金刚石膜与多晶金刚石膜的制备工艺及性能引言：金刚石薄膜作为一种高性能的膜材料，具有极高的硬度、良好的耐磨性、光学透明性、电学特性、化学稳定性和热稳定性等优良的性能，被广泛应用于先进的功能材料、微电