MEMS静电驱动结构运动特性控制方法的中期报告

MEMS静电驱动结构运动特性控制方法的中期报告1. 研究背景MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 是一种基于微观尺度加工技术的新型微型化元件，具有高集成度、高