基于CMOs-MEMS的集成热电堆真空传感器的研究的开题报告

基于CMOs-MEMS的集成热电堆真空传感器的研究的开题报告一、背景和研究意义随着科技的快速发展，热电材料的制备和应用得到了广泛研究和应用。利用热电效应，制造了许多热电转换器件，其中之一就是热电堆。热