基于GMM驱动器的三柱塞高频微小泵的基础研究综述报告

基于GMM驱动器的三柱塞高频微小泵的基础研究综述报告引言在微液体处理系统中，微小泵是一个必不可少的组件。随着微流控技术的发展，需要更加精确和快速的微小泵。GMM驱动器的三柱塞高频微小泵是一种新型的微小