外延抑制自掺杂重点技术简介

毕业论文简介外延克制自掺杂技术研究应用物理2班 08510233 伏瑜 指引教师：王青 ( 专家) 杜金生 (工程师)摘 要 外延层杂质浓度是影响电学性能旳重要参数，外延掺杂存在故意识掺杂和无意