供输半导体级一般气体之配管工作程序文件.doc

一般氣體配管工作程序供輸半導體級一般氣體之配管工作程序適用範圍: 本程序乃適用於半導體生產工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作｡氣體管路的種類:CDA, N2, O2, H2, He, Ar工作範圍