离子束和等离子体加工

离子束和等离子体加工 表面抛光中应用。 1.离子束加工的基本原理 所谓离子束抛光, 就是把惰性气体氩、氮等放在真空瓶中, 用高频电磁振荡或放电等方法对阴极电流加热, 使之电离成为正离