GaN基HEMT生物传感器的制备与性能研究

GaN基HEMT生物传感器的制备与性能研究摘要：生物传感器是一种能够检测生物分子或细胞活性的高灵敏度检测器件。近年来，氮化镓高电子迁移率晶体管（GaN HEMT）因其优异的电子输运特性而在微纳电子学领