21世纪的硅微电子学

21世纪的硅微电子学 　　 　　摘　要　本文展望了21世纪微电子技术的发展趋势。认为： 21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺，但将突破目前所谓的物理“限制”，继续快速发展；集成电路将