光学元件离子束修形去除效率分析

光学元件离子束修形去除效率分析光学元件离子束修形去除效率分析随着技术的不断发展，离子束修形技术逐渐成为光学元件表面几何形状微纳加工的重要手段。离子束处理光学元件时，直接影响性能的因素主要为元件表面形状