基于激光多普勒技术的微悬臂梁机械特性的测量

基于激光多普勒技术的微悬臂梁机械特性的测量激光多普勒技术是一种新颖高效的非接触式测量技术，在微纳机械领域应用十分广泛。微悬臂梁是微纳机械中常见的一个结构，其机械特性的测量具有重要意义。本文通过对激光多