非掺锑化镓抛光工艺研究

非掺锑化镓抛光工艺研究摘要 本文主要研究了掺锑化镓抛光工艺的优缺点，分析了掺锑化镓抛光对镓片质量的影响，提出了非掺锑化镓的抛光工艺。通过实验比较，证明了非掺锑化镓抛光工艺的稳定性和优越性。因此，在生产