扫描电子显微镜原理及发展综述

扫描电子显微镜原理及发展综述 课程报告 姓名： 学院： 专业： 学号： 课程老师： 提交时间： 摘要 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析仪器

扫描电子显微镜原理及发展综述 课程报告 姓名： 学院： 专业： 学号： 课程老师： 提交时间： 摘要 扫描电子显微镜作为一种有效的显微结构分析仪器，可以对各种材料 进行多种形式的表面的观察与分析。它具有分辨率高、景深长、成像富有 立体感等优点。利用扫描电镜的图像研究法分析显微结构，其内容丰富、 方法直观。随着现代生活对新型材料的需求不断增长，扫描电子显微镜技 术在新型材料学科领域中的应用也日益广泛。本文主要介绍扫描电子显微 镜的工作原理、结构特点以及发展应用情况，并对当前扫描电镜发展方向 进行总结与评析。 SEM, 关键字：扫描电子显微镜，工作原理，结构组成，应用发展方 向 I 目录 第一章前言