氧碳杂质在线检测技术分析

氧碳杂质在线检测技术分析摘要:利用红外光谱法对四氯化钛(TiCl4)中的氧碳杂质含量进行检测，并成功将该检测方法应用于精TiCl4的在线检测中。在线检测系统样品池由2个腔体串联组成，光程分别是10mm