磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究

磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜及其特性研究摘要：随着电子、信息技术的快速发展，透明导电薄膜在光电器件、显示器件等领域中的应用越来越广泛。本文以磁控溅射技术为主要手段，