硅片表面光泽度的测试方法-编制说明

国家标准《硅片外表光泽度的测试方法》编制说明（征求意见稿）一、 工作简况1.1标准立工程的和意义硅片外表的光泽度作为评价硅片外表质量的指标之一，逐渐被各半导体厂重视并加以 控制。集成电路用大尺寸硅片