薄膜内应力的分析和计算

薄膜内应力的分析和计算一、引言薄膜内应力是研究薄膜性质及其应用的重要参数，它是由于薄膜自身材料的内部结构和在薄膜制备过程中产生的应力所引起的。薄膜内应力不仅影响薄膜的力学性能，还可能对其光电性能、热学