国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展

国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展摘要：MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）陀螺是一种在微尺度上构