磁控溅射ZrSiN薄膜的微观结构表征及其力学与摩擦学性能研究

磁控溅射ZrSiN薄膜的微观结构表征及其力学与摩擦学性能研究摘要磁控溅射技术是制备ZrSiN薄膜的有效手段，本文运用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对ZrSiN薄膜的微观结构进行了表征，并通过纳米压痕和