极小转角的多光束干涉在线测量

极小转角的多光束干涉在线测量引言:文章就极小转角的测量提出利用F-P干涉仪的想法。利用光学器件具有误差小测量精度优势，探究了利用现有的F-P干涉仪原理，并在此基础上进一步改进，进而实现其精确测量极小转