微电子二元光学器件制作工艺研究论文

微电子二元光学器件制作工艺研究论文 二元光学器件的基本制作工艺是超大规模集成电路中的微电子加工技术，但微电子加工属薄膜图形加工，主要控制的是二维的薄膜图形，而二元光学器件则是一种表面的三维浮