硼掺杂直拉硅单晶pp+外延片中铜沉淀的研究任务书

硼掺杂直拉硅单晶pp+外延片中铜沉淀的研究任务书一、研究背景硼掺杂硅单晶用作加工半导体器件时具有非常重要的作用。然而，在加工硼掺杂硅单晶过程中，铜沉淀可能会导致半导体器件的电性能下降甚至失效。此外，外