分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

分析MEMS压力传感器的原理设计与应用    　　MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高