国家标准《硅片表格面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质

国家标准《硅片表面金属元素含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》（预审稿）编制说明工作简况立项目的和意义硅片是半导体制造业的基础材料，由于硅片表面极其少量的金属污染都有可能导致器件功能失效或可靠性变差，