王帅帅集成电路制造工艺课程作业报告

集风电路指渣工之殊我作业携告题目：1990年CMOS结构制造工艺流程班级：14电了姓名：常工院王帅帅学号：制备:•裸晶IS, P型•晶圆清洗•沉枳P型外延硅p型晶圆上外延层生长示意图接触孔I光刻(3