溅射钽靶材用高纯钽粉工艺研究

溅射钽靶材用高纯钽粉工艺研究摘要在溅射镀膜技术中，钽靶材是非常重要的材料。高纯度的钽粉是制备高品质钽靶材的基础。本研究首先对高纯度钽粉的制备方法进行了探讨，并研究了影响钽靶材制备工艺的因素。通过实验，