UF200PROBER中文基本操作手册

UF200PROBER 中⽂基本操作⼿册TSK UF200 Prober Operation Manual── CONTENTS ──⼀、TSK UF200 PROBER OVERVIEW

UF200PROBER 中⽂基本操作⼿册 TSK UF200 Prober Operation Manual ── CONTENTS ── 2 ⼀ 、 T S K U F 2 0 0 P R O B E R O V E R V I E W - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 7 ⼆ 、 V M E B O X I N S T R U C T I O N - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 10 三 、 P R O B E R P O W E R O N / O F F - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 12 四 、 N E W D E V I C E S E U P P R O C E S S - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 六 、 S E T U P 3 2 B R O K E N W A F E R - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 五 、 L O T S E T T I N G S - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 3 3 37 七 、 S E T U P G R O U P I N D E X W A F E R - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 39 ⼋ 、 P R O F I L E S E N S O R A D J U S T M E N T - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 41 九 、 E 1 C A M E R A P O S I T I O N A D J U S T M E N T - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - 參 考 ⽂ 獻 4 2 : T S K U F 2 0 0 U s e r ’ s M a n u a l ⼗ 、 C A R D M A N A G E M E N T F U N C T I O N S E T T I N G 第⼀章、TSK UF200 PROBER OVERVIEW UF200 Prober就外觀⽽⾔分為兩⼤部分，⼀為機台主要部分(Main body)，另外則為晶⽚傳輸機構(Loader)。顧名思意既為主要操作部分，主要有 晶⽚與針卡放置於測試機的測試頭底下作測試。⽽晶⽚傳輸機構的主要⼯作是將晶⾈內的晶⽚傳輸⾄chuck 作測試之⽤。