印刷 知识专业培训烧结维修小组手册

丝网、分测故障检修参考故障现象原因分析解决方法一道吸碎硅片① CDA有时不够稳定②CDA吹气的阀岛有脏阻现象③两侧风刀或吹气管道脏阻④两侧风刀吹飘片子①调整吹气调节阀②清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等

丝网、分测故障检修参考 原因分析 解决方法 故障现象 ①CDA有时不够稳定 ①调整吹气调节阀 ②CDA吹气的阀岛有脏阻现象 ②清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等，必要时更换 一道吸碎硅片 ③两侧风刀或吹气管道脏阻 ③清洁两侧风刀或吹气管道 ④两侧风刀吹飘片子 ④调整风刀的吹气方向及吹气调节阀大小 ①风刀吹气太小 ①适当调大吹气调节阀 ②风刀没有吹开顶面的片子 ②调整风刀的吹气方向 一道连吸多片 ③上料盒内硅片顶面过高， ③调整两侧对射光纤头的上下位置 ④两侧风刀出气口过低 ④调整风刀的吹气口方向 ①电机转动不灵活或卡住 ①更换电磁抱闸；电机绕组短路，需更换 行走臂上下电机 ②上下位置出错 ②调整参数；紧牢编码器转轴螺丝；齿带绷紧或更换 报警 ③行走臂上下不灵活或卡住 ③齿轮箱内碎片清理，加润滑脂，必要时更换齿轮 ④行走臂辅助汽缸失灵 ④调节气压大小，必要时更换 elmo卡程序出错或损坏 ⑤ 重新导入程序或更换elmo卡 ⑤ ①圆光栅头位置偏移 ①重新调整，确保指示灯常绿（原点除外），必要时更换 转盘报警 ②圆光栅尺位置有偏差 ②调整圆光栅尺一周，确保光栅头绿色指示灯常绿（原点除外） ③转盘转动时受外力卡住 ③紧牢顶杆低端螺丝；调整与顶杆低端靠近的接近开关位置 ④转盘本身转动不灵活或卡死 ④拆下转盘的转子， 轴承清洗、上润滑油 ⑤elmo卡程序出错或损坏 ⑤重新导入程序或更换elmo卡 ①电机滑块摩擦力较大 ①用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换 ②行走臂滑块摩擦力较大 ②用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换 行走臂直线电机 ③电机位置超出上下限 ③重新设置原点参数或上下限参数 报警 ④elmo卡程序出错或损坏 ④重新导入程序或更换elmo卡 ⑤电机线圈短路烧毁 ⑤更换直线电机 ①电机上下受阻，摩擦力较大 ①给导轨、滑块加润滑油，必要时拆下更换 烘箱机械手上下 ②电机动作超限 ②调整参数 电机报警 ③行走臂向上动作时阻力较大 ③调整双感应气缸CDA大小，必要时更换 ④烘箱温度过高 ④调大烘箱前面顶部的排风量 elmo卡程序出错或损坏 ⑤ 重新导入程序或更换elmo卡 ⑤ 双作用气缸实效、气压偏小或损坏 ⑥ ⑥调节好双作用气缸，必要时更换 ①夹爪磨损、变形 ①更换新的夹爪 烘箱夹碎 ②夹爪夹取硅片时过紧或过松 ②适当调整夹爪闭合时的参数 ③硅片被夹取时动作较大产生碰撞 ③调整夹爪参数，确保抓取时夹爪内侧碰不到或轻触硅片 ④托盘不在合适的位置 ④调整托盘两侧边的调节挡板 ⑤托盘两侧的链条前后位置不适当 调整托盘两端链条两侧的调节档块 ⑤ ①顶杆变形 ①校正顶杆，必要时更换 卸载顶杆顶碎硅 ②顶杆的底盘变形 ②校正底盘，必要时更换 片 ③顶杆的顶部不水平 ③打磨顶杆，必要时更换顶杆和底盘 ④顶杆的上端面不平滑 ④用细纹路的锉子挫平 台面真空释放缓慢 ⑤ 延长真空释放时间；台面清洗，电磁阀阀芯清洗，必要时更换 ⑤ 顶杆电机线圈烧毁 ⑥ 更换直线电机 ⑥