TCAD离子注入仿真实验报告

TCAD 离子注入仿真实验报告 一、实验目的 1、熟悉 Silverback 的仿真模拟环境。 2、掌握离子注入的关键工艺影响参数，以及如何在 TCAD 环境下进行离子注入工艺模拟。 二、实验要求