硅基锗材料的外延生长及其应用 硅基芯片 发光 锗

硅基锗材料的外延生长及其应用 硅基芯片 发光 锗 　　摘要:硅是最主要的半导体材料,在信息产业中起着不可替换的作用。不过硅材料也有部分物理不足,比如它是间接带隙半导体材料,它的载流子迁移率低,因此硅