概述三相混合式直线步进电机特点与基本参数

三相混合式直线步进电机由导轨和滑块组成。运动前导轨和滑块间先通 3.5 个大气压的气体使其间有 1 5 μm 的气隙 ， 滑块悬浮在导轨上方 1 5 μm 高度上。运动时就如同磁悬浮列车，靠磁场的变化