4465.新基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计

基于工控机和PLC的真空磁控溅射镀膜设备控制系统设计摘 要：磁控溅射镀膜技术在薄膜制备领域广泛应用，控制系统的设计对磁控溅射镀膜设备的稳定运行有着重要的影响。本文介绍了基于嵌入式一体化工控机和PLC