椭偏仪操作规程样本

椭偏仪操作规程一.目 使用椭偏仪测量经PECVD镀膜后SiN膜厚度(d)和折射率(n).二.合用范畴 合用于CENTECH公司SE 400advanced型号椭偏仪三.设备重要性能及有关参数 3