硅集成电路工艺基础重点

1 SiO2的结构和性质: ①分为结晶形和非结晶形（无定形），均由Si-O四面体组成：中心-硅原子，四个顶角-氧原子，形成O-Si-O键桥，相邻四面体靠此键桥连接。结晶形SiO2—由Si-O四面体在空