四电极电化学MEMS加速度传感器设计与制作的中期报告

四电极电化学MEMS加速度传感器设计与制作的中期报告一、研究背景和意义MEMS加速度传感器是一种基于微电子技术和微机械系统技术制造的小型化传感器。它广泛应用于工业、军事、医疗等领域，其中最广泛的应用是