MEMS定义及产业链概况分析

MEMS定义及产业链概况分析一、MEMS定义及产业链概况MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的新技术，它的诞生和发展是 “需求牵引”和“技术推动”的综合结果，是微电子和微机械的巧妙 结合。MEMS即微